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蠕动泵液体流量准确控制

信息来源:本站 | 发布日期: 2019-07-11 | 浏览量:137
关键词:蠕动泵液体流量控制
  随着晶圆技术发展到更小的线宽,准确控制液体流量对于获得高产量变得越来越重要;在这些关键过程中,流量的控制和管理必须依赖于流体输送和分配系统,这些系统始终提供准确性 - 以保持过程完整性并更大限度地减少废料。
  
  蠕动泵在完全封闭的系统中提供卓越的流速稳定性和计量精度,实现没有污染的流量控制。流动仅与一个不间断长度的Style 100 SC高弹性硅复合泵管元件内部接触,提供平滑,无缝的流动,以防止浆料颗粒聚集,从而导致划痕缺陷和降低产量。
  
  泵提供非常低的剪切力,避免损坏浆料聚合物链,这会对去除率,抛光均匀性,划痕密度或深度产生负面影响。在CMP和其他关键应用中,泵故障是不可接受的,因为它会导致晶片损坏和高废品率。
  
  免维护无刷电机驱动器,适用于连续工作和滚子和滚珠轴承泵头结构,可生产高度可靠和强大的泵。该泵尺寸小,适用于有限空间的晶圆厂安装,许多型号包括带微处理器控制校准的数字驱动器,以及密封冲洗外壳中的LCD显示器。
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